仪器设备



类别    
仪器设备名称、型号    
型号    
                                                                                                                                                       
主要用途及性能    
TFT    
制备    
CME-200E    
ULVAC/                                     日本    
全自动机械手传送,进样室、传送室、工艺室集成,基片尺寸                                     370mm                                     ×470mm    
SME-200E    
ULVAC/                                     日本    
多个工艺腔体分别沉积                                     ITO                                     、金属电极、金属氧化物等薄膜    
曝光机    
OAI-500    
O A I/                                     美国    
曝光工艺    
PECVD-2D    
北京创威纳    
原型器件的硅基薄膜工艺    
JPGF-700    
北京北仪创新真空技术公司    
原型器件的电极薄膜工艺    
SC-N058    
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司    
 
主要实现                                     200mm                                     ´                                     200mm                                     ´                                     0.7mm                                     方形玻璃基板上的金属膜层的刻蚀、光刻胶显影、剥离、清洗、干燥等功能    
退火炉    
VTS-25    
中国电子科技集团公司第二研究所    
200                                                                         -1100                                                                         范围退火    
 
韩国                                     Korea    
特种气体保护和供气,特种气体的防火,自动吹扫,泄漏报警,自动监控,紧急切断等    
匀胶机    
LSM-300    
SAWATEC                                     公司    
光刻胶、有机膜等的匀胶    
JML04C2    
上海中晨    
测定极性有机物(两亲分子)物理化学特性    
OLED                                     制备    
有机蒸发镀膜系统(                                     PMOLED                                        
SD400    
沈阳四达    
多层有机薄膜沉积    
电子束蒸发系统    
SD450    
沈阳四达    
金属电极沉积    
MB-MO-SE1    
MBRAUM/                                     德国    
 OLED                                     器件制备    
模组高密度封装设备    
KNS4522    
KNS/                                     以色列    
金丝球焊    
Fineplacer 96    
Fine Tech/                                     德国    
器件倒装焊接    
TM-101P                                        
TRIMECH TECH    
压焊    
MBRAUN    
MBRAUN/                                     德国    
显示屏封装    
DB380    
深圳佑光    
各种规格                                     LED                                     芯片或者其他类似小芯片阵列式固晶    
300DS    
MUSASHI    
LED                                     荧光粉、银胶、锡膏等粘结或者灌封材料涂覆    
薄膜与光电特性测试    
台阶仪    
α-S 500    
TENCOR/                                     美国    
膜厚测量    
 ST2000-PLXN    
HIROY CHINA.LTD    
薄膜厚度测量    
电阻测量系统    
QT50/5601Y    
QUATEK INC    
方块电阻    
SPA-400 SPM    
精工                                     /                                     日本    
多种模式薄膜表征    
IV4155C;CVE4980A    
Agilent/                                     美国    
半导体电学性能测试(                                     C-V;I-V                                        
TTP4    
 Lake Shore                                     公司    
采用液氦和液氮连续流制冷,变温范围                                     1.5K-475K    
材料特性测试    
F-4500    
日立                                     /                                     日本    
材料光谱分析    
U-3900H    
TECHCOMP    
可测试透过率及反射率等    
 光度/色度/辐射度计
PR650    
TITAN ELECTR-OPTICS    
光度/色度/辐射度测试
FLSP920    
EDINBURGH INSTRUMENTS LTD    
稳态                                     /                                     瞬态荧光光谱测试    
积分球    
HAAS-2000    
杭州远方    
发光器件光色电基本参数测试    
DMA Q800    
TA/                                     美国    
薄膜动态力学性能分析    
TGA Q5000IR    
TA/                                     美国    
材料                                     Tg                                     、痕量水分析    
T3Ster    
Mentor                                     Graphics    
半导体器件、                                     LED                                     光电器件等热学分析、测试    
L200ND    
日本尼康    
应用于                                     200mm                                     ´                                     200mm                                     TFT                                     玻璃基板的观察,其它样品的图形观测    
可靠性测试与微分析    
KSKA-415TRA    
庆声科技                                     /                                     台湾    
器件可靠性测试    
KTHB-215TBS    
庆声科技                                     /                                     台湾    
器件可靠性测试    
ZJZCL-1    
 
OLED                                     寿命老化测试    
切割和研磨    
Buler    
Buler/                                     美国    
切割、研磨    
LEICA DM2500M    
莱卡                                     /                                     德国    
微分析    
TFT OLED                                     设计软件    
SILVACO    
TFT Model; OLED Model;LED Model    
SILVACO/                                     美国    
TFT                                     设计