型号：SME-200E

购入时间：2010.9

制造厂商：ULVAC

安置地点：平板显示楼

所在单位：新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

联系人：石继锋

联系电话：021-53664402

是否共享（是/否）：是

仪器简介：

该设备具有以下功能：

1.可以完成Al/Mo等金属薄膜材料的沉积；

2.可以完成IGZO/GZO等半导体功能薄膜沉积；

3.可以完成ITO薄膜材料的沉积

主要技术指标：

1.1.沉积基板为200*200大小玻璃基板；

1.2. RF溅射电源最大功率为500W，DC溅射电源最大功率为2000W；

1.3.真空配置为干泵+冷泵模式；

1.4.最大溅射温度为400摄氏度；

1.5.金属和IGZO靶材尺寸为Φ101.6*t6（mm），ITO尺寸为400*420*t5（mm）；

应用范围：平板显示

收费标准：电话联系