型号：Model 500

购入时间：2006年12月

制造厂商：UPTIC ASSDCIATION

安置地点：延长校区电机楼一楼净化室

所在单位：新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

联系人：陈龙龙

联系电话：021-56334402

仪器简介：

500型系列掩膜对准器设计的功能是用于完成精确的基板跟掩膜的对准和在许多类型材料上的曝光。500型系列暴光机主要用于需要高分辨率的印刷和高精确的配准。

500型系列暴光机是半自动的仪器，其使用一个可编程的控制器来简化操作，操作仅需几个键来完成。

主要技术指标：

可满足基片尺寸：小尺寸至8英寸的圆片或方片

线宽精度：1微米

套刻精度：0.2微米

UV光源波长：365nm与405nm

应用范围：

可应用于平板显示与半导体的光刻工艺等

收费标准：电话联系