型号：LSM-300

购入时间：2010年5月

制造厂商：SAWATEC公司

安置地点：平板中心一楼黄光区

所在单位：新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

联系人：陈龙龙

联系电话：021-56334402

仪器简介：

LSM-300型匀胶机可实现200mm´200mm方形基板的匀胶，采用自动滴胶的方式滴胶，可以编制多达50个滴胶程序，方便下一次使用，并且每个程序可有24个段，方便自动滴胶、转动等步骤的实现。

LSM－300型匀胶机带有加热板功能，热板可编程，并可实现真空情形下的加热烘烤过程。

主要技术指标：

1．可设定50个程序，每个程序可设定24个步骤；

2.匀胶速度0－6000rpm，转动精度±1rpm；

3. 最大加速度5000rpm/sec²；

4．去除边缘3mm的区域光刻胶均匀性≤3%

应用范围：

主要实现200mm´200mm´0.7mm方形玻璃基板的光刻胶、有机膜等的匀胶；同时可以实现不同小尺寸样品的光刻胶膜、有机膜涂布等；热板有编程功能，可实现加热时间的程序化控制功能，加热时可对样品进行真空吸附，预设加热时间到达之后用顶针将样品顶起，方便卸载样品。

是否对校内外共享：

收费标准：