型号：VTS-25

购入时间：

制造厂商：中国电子科技集团公司第二研究所

安置地点：平板楼净化房

所在单位：新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

联系人：张浩

联系电话：021-53664402

是否共享（是/否）：是

仪器简介：

真空退火炉为卧式双室结构，主要由设备主体、支撑台架、送取料传动机构、真空系统、加热系统、充气系统及控制系统等组成。

主要技术指标：

1.1恒温区：Φ250*350mm；

1.2使用温度：1100℃；

1.3控温精度：≤1.0℃；

1.4温度均匀性：±1℃（200℃-1100℃工作范围，按平台表面温度验收）；

1.5升温时间：从室温升至1100℃≤50min（空炉条件下）；

1.6极限真空：优于4×10-4Pa(空炉、洁净、室温、充分脱气)；

1.7真空度连续可调；

收费标准：电话联系