型号：TENCOR a-STEP500

购入时间：2006年12月

制造厂商：美国TENCOR INSTRUMENT

安置地点：延长校区电机楼一楼净化室

所在单位：上海大学新型显示与应用集成教育部重点实验室

所在地址：延长路149号

联系人：石继锋

联系电话：021-56331976

仪器简介：

TENCOR a-STEP500特点：

测试带台阶薄膜的膜厚，如CVD、SPUTTER等仪器生长的薄膜。

主要技术指标：

通过多点测试，求各点平均值保证测试精度

选购附件：

扫描探针、承载台

应用范围：广泛应用于材料，微电子等领域

收费标准：40元/片