扫描探针显微镜 Scanning ProbeMicroscopy

创建时间:  2017-09-29     浏览次数:


型号:SPA400

购入时间:2008年1月

制造厂商:日本精工

安置地点:电机楼106

所在单位:新型显示及应用集成重点实验室

所在地址:延长路149号

联系人:张浩

联系电话:021-56334402

仪器简介:

扫描电子显微镜用于测量薄膜的表面状况,本仪器的主要特点是:

1.多种测量模式:Contact AFM(接触式原子力显微镜);DFM(动态力模式);Phase Mode (相位模式)

2. FFM (摩擦力模式);MFM(磁力模式);Vector Scan (向量扫描,纳米刻蚀)

3. KFM (表面电位势测量);EFM(表面静电力);AFM-CITS(电流隧道谱-IV测量)

主要技术指标:

1.样品最大尺寸:Ф35mm×10mm(H)

2.表面形貌分辨能力:XY: 0.2nm, Z: 0.01nm

3.自动颗粒度拟合,扫描图像剖面分析

4.图形分析:2D, 3D粗糙度、距离测量、

5.最大扫描范围:20×20μm;100×100μm

6.样品台平移范围:X,Y方向±5mm;精度:250μm。

应用范围:薄膜表面形貌表征,表面电磁学性能。

收费标准:电话联系





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