型号：SPA400

购入时间：2008年1月

制造厂商：日本精工

安置地点：电机楼106

所在单位：新型显示及应用集成重点实验室

所在地址：延长路149号

联系人：张浩

联系电话：021-56334402

仪器简介：

扫描电子显微镜用于测量薄膜的表面状况，本仪器的主要特点是：

1.多种测量模式：Contact AFM(接触式原子力显微镜)；DFM(动态力模式)；Phase Mode (相位模式)

2. FFM (摩擦力模式)；MFM(磁力模式)；Vector Scan (向量扫描，纳米刻蚀)

3. KFM (表面电位势测量)；EFM(表面静电力)；AFM-CITS(电流隧道谱－IV测量)

主要技术指标：

1.样品最大尺寸：Ф35mm×10mm(H)

2.表面形貌分辨能力：XY: 0.2nm, Z: 0.01nm

3.自动颗粒度拟合，扫描图像剖面分析

4.图形分析：2D, 3D粗糙度、距离测量、

5.最大扫描范围：20×20μm；100×100μm

6.样品台平移范围：X,Y方向±5mm；精度：250μm。

应用范围：薄膜表面形貌表征，表面电磁学性能。

收费标准：电话联系