真空蒸发镀膜设备是OLED器件制备中最常用、最重要的工艺设备。本设备由德国MBRAUN公司生产，与手套箱连接、自动化程度强、参数控制更加精密。
1、主体配置包含：箱子主体，净化系统，真空泵，循环泵，控制系统，过渡舱，230V电源，手套，照明系统。
2、主机主体：集成有水和氧气净化的手套箱，箱体920mm×1200mm×780mm，适用于单人单面操作，泄露率＜0.05vol%/h，手套一付，进气口、出气口处分别有一个灰尘过滤器，箱体内压力可在-15mbar ~ +15mbar之间可调节，箱体外部顶端带照明系统，可通过PLC面板控制开关。
3、净化系统：密闭循环气体净化系统、单个水、氧净化柱，净化材料可再生、可自动再生程序，主控阀：电气控阀MB-EPV-40，气体纯度H2O＜1ppm，O2＜1ppm，工作气体可为氮气或氩气。
4、循环泵为MB BL-015；真空泵流量17m3/h，真空度＜3*10-2mbar。
5、带操作面板（LCD显示）SIEMENS PLC控制系统。
6、过渡舱直径250mm，长度400mm，内有一个滑盘，两个轴锁式大过渡舱门，可抽真空，并带有真空表，适用于单人单面操作
7、集成的MB-MO-SE1-PLC控制水分析仪（测量范围0~ 500ppm,响应时间：120s,精度：（0~10ppm范围内：+/-1ppm; 10~100ppm范围内：优于值的20%）；漂移量＜10%/年。
