真空热蒸发镀膜设备 Thermal Deposition System with Glove Box

创建时间:  2017-09-28     浏览次数:


型号:Mbraun - IC5

购入时间:2005年

制造厂商:德国Mbraun公司

安置地点:上海大学延长路149号电机楼1楼

所在单位:上海大学新型显示教育部重点实验室

联系人:魏斌

联系电话:56334331

仪器简介:

真空蒸发镀膜设备是OLED器件制备中最常用、最重要的工艺设备。本设备由德国MBRAUN公司生产,与手套箱连接、自动化程度强、参数控制更加精密。

主要技术指标:

1、主体配置包含:箱子主体,净化系统,真空泵,循环泵,控制系统,过渡舱,230V电源,手套,照明系统。

2、主机主体:集成有水和氧气净化的手套箱,箱体920mm×1200mm×780mm,适用于单人单面操作,泄露率<0.05vol%/h,手套一付,进气口、出气口处分别有一个灰尘过滤器,箱体内压力可在-15mbar ~ +15mbar之间可调节,箱体外部顶端带照明系统,可通过PLC面板控制开关。

3、净化系统:密闭循环气体净化系统、单个水、氧净化柱,净化材料可再生、可自动再生程序,主控阀:电气控阀MB-EPV-40,气体纯度H2O<1ppm,O2<1ppm,工作气体可为氮气或氩气。

4、循环泵为MB BL-015;真空泵流量17m3/h,真空度<3*10-2mbar。

5、带操作面板(LCD显示)SIEMENS PLC控制系统。

6、过渡舱直径250mm,长度400mm,内有一个滑盘,两个轴锁式大过渡舱门,可抽真空,并带有真空表,适用于单人单面操作

7、集成的MB-MO-SE1-PLC控制水分析仪(测量范围0~ 500ppm,响应时间:120s,精度:(0~10ppm范围内:+/-1ppm; 10~100ppm范围内:优于值的20%);漂移量<10%/年。

8、用于除去有机溶剂的活性炭过滤器。

应用范围:

有机OLED器件的制备和封装.

收费标准:无





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