型号：L200ND

购入时间：2011年9月

制造厂商：日本尼康测量仪器公司

安置地点：平板中心一楼黄光区

所在单位：新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

联系人：陈龙龙

联系电话：021-56334402

仪器简介：

主要实现TFT-OLED用的TFT玻璃基板反射光明视场法、反射光暗视场法、反射光偏振光法、反射光微分干涉衬比法、透射光明视场法和透射光偏振光法等方法的观测。具有满足200mm´200mm玻璃基板放置的载物台，物镜倍率5X、10X、20X、50X、100X，其中100X可校正玻璃厚度0-0.7mm；显微镜具有电动物镜转盘，配套软件可与测量的定标尺联动，测量时无需再手动选择物镜标尺；含图像采集、保存、几何测量、拼图、景深叠加、数据库和报告制作等功能。

主要技术指标：

1目镜：超宽视野目镜10X（两个），视场数≥25

2允许样品最大高度：≥25mm

3物镜转盘：五孔电动物镜转盘

4载物台：移动行程≥200x200mm

5物镜：

(a) 5X明暗场型平场消色差物镜，数值孔径≥0.15，工作距离≥12.0mm

(b) 10X明暗场型平场消色差物镜，数值孔径≥0.25，工作距离≥10 mm

(c) 20X长工作距离明暗场型平场消色差物镜，数值孔径≥0.40，工作距离≥12.0mm

(d) 50X长工作距离明暗场型平场消色差物镜，数值孔径≥0.50，工作距离≥10.6mm

(e) 100X明场型平场消色差LCD物镜，数值孔径≥0.85，工作距离大于1.0mm，可校正玻璃厚度0-0.7mm

应用范围：

应用于200mm´200mmTFT玻璃基板的观察，其它样品的图形观测