当前位置: 首页 >> 开放与交流 >> 通知公告 >> 正文


学术报告:磁控溅射工艺及电子薄膜材料制备

创建时间:  2020-07-17  任春明    浏览次数:


题目:磁控溅射工艺及电子薄膜材料制备

时间:2020年07月22日13:00-17:30

地点:上海大学平板楼

主持人:李喜峰


专家介绍:

宋志棠,男,研究员,博士生导师,1997年毕业于西安交通大学电子材料与器件研究所,获工学博士学位。现为中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室主任、信息功能材料国家重点实验室副主任,上海市纳电子材料与器件优秀学科带头人,国内PCRAM材料与器件研究的开创者。负责建立了纳米技术实验室,创建了纳电子材料与器件学科,与产业结合率先在国内开展相变存储器(PCRAM)的研发,培养与组建了100人产、学、研紧密结合、高水平的研发队伍。PCRAM纳电子材料与器件作为所级项目,连续2年被评为第一名。负责搭建起纳电子材料与器件技术平台(近2亿)。发表170多篇学术论文,被NatureMaterial、NanoLett.等杂志引用500多次。主要研究方向:纳电子材料与器件。








下一条:学术报告:光刻和纳米压印技术