题目：磁控溅射工艺及电子薄膜材料制备

时间：2020年07月22日13:00-17:30

地点：上海大学平板楼

主持人：李喜峰

专家介绍：

宋志棠，男，研究员，博士生导师，1997年毕业于西安交通大学电子材料与器件研究所，获工学博士学位。现为中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室主任、信息功能材料国家重点实验室副主任，上海市纳电子材料与器件优秀学科带头人，国内PCRAM材料与器件研究的开创者。负责建立了纳米技术实验室，创建了纳电子材料与器件学科，与产业结合率先在国内开展相变存储器（PCRAM）的研发，培养与组建了100人产、学、研紧密结合、高水平的研发队伍。PCRAM纳电子材料与器件作为所级项目,连续2年被评为第一名。负责搭建起纳电子材料与器件技术平台(近2亿)。发表170多篇学术论文，被NatureMaterial、NanoLett.等杂志引用500多次。主要研究方向：纳电子材料与器件。